КОСЯКОВ АНДРЕЙ НИКОЛАЕВИЧ

  Изобретение относится к структурным исследованиям поверхности с использованием туннельного эффекта. Целью изобретения является повышение точности регистрируемых параметров за счет расширения диапазона регулирования перемеще- 'ния измерительного острия при сохранении разрешения. Устройство содержит пьезоэлектрический привод острия, включающий взаимно перпендикулярно ориентированные...