ЗОЛОТАРЕВА ТАТЬЯНА ВИКТОРОВНА

  Изобретение относится к электронной технике, в частности к производству полупроводниковых приборов и интегральных микросхем, и Moxej быть использовано в автоматизированных технологических линиях для межмодульной транспортировки полупроводниковых пластин. Цель изобретения - расширение технологических возможностей -достигается тем. что основание и крышка герметично соединены между с...