ШЕПЕЛЕВ ВИТАЛИЙ ИВАНОВИЧ

  Изобретение относится к обработке резанием неметаллических материалов, а именно к резке полупроводниковых или керамических пластин, и позволяет повысить точность разрезания пластин. Каретки продольной 3 и поперечной 4 подач перемещаются по комбинированным призматическим 10 и 11 и плоским 12 и 13 направляющим. Корпусы кареток снабжены аэростатическими подпятниками 14-17, которые им...