АТАЕВ БАДАВИ МАГОМЕДОВИЧ

  Изобретение относится к тонкопленочной технологии, может быть использовано в микроэлектронике и обеспечивает повышение чистоты пленок. На подвижную мишейь из исходного материала воздействуют лу-чом лазера. Поток ионов проходит через мелкоструктурную проводящую сетку и вытягивающий электрод, установленные на выходе из ионизационной камеры, получает ускорение и входит в магнитное по...