ЧИСТЯКОВА ТАТЬЯНА ГРИГОРЬЕВНА

  Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано приизгот'овлении полупроводниковых преобразователей механических величин. Целью изобретения является упрощение способа и повышение выхода годных. Сущность изобретения заключается в том, что на поверхности кристалла или корпуса со стороны их соприкосновения при сбррке формируют методами напыления, фотолитографи...