ДЬЕРДЬ ФЮЛЕ

  Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения - ловышение точности и производительности. Способ состоит в том, что исследуют несущий слоистую конструкцию полупроводниковый образец б.прйводят его в контакт с электролитом 2. подвергают анодному трав- ne»v\K)H при травлении путем интегрирования тока определяют глубину травления, одновременно ибразец 6 параллельно с...