РУНОВСКАЯ ИРИНА ВЛАДИМИРОВНА

  Изобретение относится к способу получения оксида хрома (III) и может быть использовано для получения высокочистого Сг20з, применяемого в микроэлектронике. Целью изобретения является повышение чистоты продукта. Способ включает испарение ацетилацетоната хрома при 230-250°С, транспортирования его газом-носителем со скоростью 50-300 см3/мин в реакционную камеру и взаимодейств...