ШУЛЯТЬЕВ ВАЛЕРИЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ

  Изобретение относится к радиометрическим методам измерения толщины и может быть использовано в микроэлектронике и приборостроении. Цель изобретения - повышение точности за счет обеспечения одновременного измерения интенсивности как для неослабленного излучения, так и излучения, прошедшего через образец, одним и тем же координатно-чувствительным детектором (КЧД). В устройстве в ка...