ДОЙЧО ИГОРЬ КОНСТАНТИНОВИЧ

  Изобретение относится к устройствам для контроля фотоэлектрических свойств полупроводниковых -и диэлектрических материалов и может использоваться в системах неразрушающего контроля элементов микроэлектроники. Цель изобретения - повышение достоверности фотоэлектрических измерений. После закрепления образца 2 на столике 1, подвода зонда на расстояние, меньшее радиуса скругления рту...