ЕФИМЕНКО ИННЕСА АЛЕКСАНДРОВНА

  Изобретение относится к технике получения нитрида кремния и позволяет сократить длительность процесса. Способ заключается в азотировании в потоке азота или аммиака при 1300-1500°С рисовой шелухи , которую предварительно обрабатывают раствором химического соединения из ряда: гидроксид аммония, хлорид аммония, мочевина, солянокислый гидразин и в последующем окислительном от...