PatentDB.ru — поиск по патентным документам

СТАРОСТИН ИВАН АРХИПОВИЧ

Изобретатель СТАРОСТИН ИВАН АРХИПОВИЧ является автором следующих патентов:

Устройство для получения пленок

Устройство для получения пленок

  Изобретение относится к оборудованию для нанесения металлических, полупроводниковых и диэлектрических покрытий и может найти практическое применение в полупроводниковой промышленности, обеспечивает повышение однородности толщины и структурно-чувствительных параметров пленки и снижение потерь испаряемого соединения/Устройство включает обогреваемый цилиндрический кварцевый реактор,...

1726572