МАКЕЕВ МИХАИЛ АЛЕКСАНДРОВИЧ

  Изобретение относится к измерению параметров полупроводников, а именно многослойных полупроводниковых структур , с помощью электрохимического травления и может быть использовано при изготовлении кремниевых фотоприемников с блокированной проводимостью по примесной зоне, имеющих структуру п - п+- и предназначенных для работы в ИК-области спектра. Целью изобретения является обеспече...