ФИДЕЛЬСКАЯ РЕГИНА ПАВЛОВНА

  Изобретение относится к электроннооптическим системам, в частности к системам формирования электронного пучка И сканирования им поверхности образца. Изобретение предназначается для целей методики дифракции медленных электронов , а также оже-спектроскопии и растровой электронной микроскопии. Цель изобретения - уменьшение размера электронного пятна на образце, повышение плотности т...