ШИШЛАКОВ ВАЛЕРИЙ АНАТОЛЬЕВИЧ

  Использование: относится к массспектрометрии. Сущнрстъ изобретения: в источнике 1 ускоренные ионы направляются в первое бесполевое пространство . Разделенные на пакеты ионы подвегаются воздействию переменного во времени отражающего поля. После прохождения второго бесполевого пространства ионы фокусируются в плоскости детектора. 2 ил. ел (51)5 Н 01 1 49/40 1 .y1 0 i) ОПИСАНИЕ...

  Использование: относится к масс-спектрометрии для исследования элементного состава непрерывных ионных пучков, формируемых различными источниками. Сущность изобретения заключается в регистрации информативного сигнала неотклоненных от первоначальной траектории ионов, соответствующего уменьшению или отсутствию полного ионного тока, при этом по времени между отклонением ионного пучка...

  Использование: элементный анализ поверхностных слоев твердых тел, например, тонкопленочных структур в материалах и изделиях микроэлектроники . Сущность изобретения: способ включает распыление поверхности твердого тела пучком ионов, одновременное воздействие на распыляемую область твердого тела лазерным излучением с определенной энергией фотонов , сепарацию по массам распыленных и...