Шереметьев Е.Н.

 Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано при механическом утонении полупроводниковых структур при производстве полупроводниковых приборов. Целью изобретения является расширение технологических возможностей и повышение выхода годных. Поставленная цель достигается тем, что при шлифовании нерабочей стороны на планарную сторону пластины наклеивают диск и кол...