ПОДОБЕД СЕРГЕЙ ВИКТОРОВИЧ

  Использование: в электронной технике для пласмохимического размерного травления , нанесения покрытий и очистки поверхностей . Сущность изобретения: уменьшение расхода химических рабочих соединений и снижение загрязнения окружающей среды за счет выделения из выходящихизреакторагазов непрореагировавших рабочих соединений и их повторного использования. Это достигается следующим обра...