МАЛЫШЕВА СВЕТЛАНА ИУСТИНОВНА

  Использование: электроизмерения при контроле полупроводниковых пластин. Сущность изобретения: зонд с нанесенным покрытием помещают в вакуумную камеру и нагревают потоком ускоренных электронов. При этом зонд включают в анодную цепь и размещают вблизи вольфрамового катода. 2 ил. СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ РЕСПУБЛИК ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ ПР...