БЕРОЗАШВИЛИ ЮРИЙ НИКОЛАЕВИЧ

  Изобретение относится к интегральной оптике и технологии изготовления полностью оптической вычислительной машины, Цель изобретения - улучшение качества и оптимизация параметров функционального слоя. Вначале осаждают только часть функционального слоя минимальной толщины на водорастворимую подложку. Затем на него осаждают из растворов тонкие слои с отличающимися показателями прелом...