СУХАРЕВ ЮРИЙ ГЕОРГИЕВИЧ

  Использование: изготовление тонкопленочных диэлектриков на подложках . Цель изобретения - повышение интегральной плотности изделий путем повышения удельного заряда. Смесь фторидов скандия и неодима, взятых соответственно в количестве 17,84-82,01 и 17,99-82,16 мае.ч., испаряют в вакууме () при температуре нагревателя 1550-1600°С и осаждают на подложку, нагретую до 150-230&...

  Использование; при изготовлении тонкопленочных конденсаторов и электролюминесцентных панелей. Сущность изобретения: после осаждения на кремниевую или кварцевую подложку электроннолучевым испарением покрытия из твердых растворов или изоморфных смесей оксидов металлов на заготовку наносят вакуум-термическим осаждением слой алюминия толщиной 0,1-0.6 мкм, термообрабатывают на воздухе...