АНДРИЯНОВ АЛЕКСАНДР ВИКТОРОВИЧ

  Использование: изготовление тонкопленочных диэлектриков на подложках . Цель изобретения - повышение интегральной плотности изделий путем повышения удельного заряда. Смесь фторидов скандия и неодима, взятых соответственно в количестве 17,84-82,01 и 17,99-82,16 мае.ч., испаряют в вакууме () при температуре нагревателя 1550-1600°С и осаждают на подложку, нагретую до 150-230&...