Шаляпин А.Б.

 Использование: для обработки изделий полупроводниковой техники в производстве гибридных интегральных схем на пластинах сапфира, рубина, поликора и другой керамики. Сущность изобретения: на рабочую поверхность инструмента наносят полирующий состав. Полирующий состав содержит алмазный порошок, глицерин и синтетическое моющее средство. В зону обработки подают разбавитель - силиказоль с 3,4 -...