Земляков В.Е.

 Использование: конструирование миниатюрных электретных микрофонов для слуховых аппаратов. Сущность изобретения: устройство содержит корпус с патрубком, мембрану, электрод с отверстиями, электрет, расположенный над мембраной с зазором, согласующий усилитель. Непосредственно в мембране, напротив отверстий в электроде, выполнены выравнивающие отверстия в количестве 1 + п и размером в сечении...

 Изобретение относится к микроэлектронике, а более конкретно к технике изготовления твердотельных приборов и интегральных схем с использованием СВЧ плазменного стимулирования в условиях электронного циклотронного резонанса (ЭЦР), а также к технологии плазменной обработки в процессе изготовления различных полупроводниковых структур. ЭЦР-плазменный источник для обработки полупроводниковых ст...