ФИЛИН ИГОРЬ АЛЕКСАНДРОВИЧ

  Использование: в вакуумных камерах магнитронно-импульсных, плазменных и ионных установок. Сущность изобретения: вакуумная камера содержит створку 1 с опорными роликами, закрепленные на камере направляющие 9 и 10, уплотнительные элементы и фиксатор. Направляющие 9 и 10 выполнены составными из продольной со скругленными концами и поперечной частей , имеющих призматический профиль,...