ИВАЩУК АНАТОЛИЙ ВАСИЛЬЕВИЧ

  Способ разделения монокристаллических пластин на кристаллы. Использование: технология изготовления микросхем. Сущность: на поверхность пластины алмазным индентором вдоль плотно упакованных кристаллографических направлений создают ряд последовательно расположенных зон концентрации механических напряжений, образуется магистральная трещина без боковых ответвлений. Предварительно с д...