ЧУРКИН ЮРИЙ ВАЛЕНТИНОВИЧ

  Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для определения толщины полупроводниковых слоев (прозрачных пленок) в электронной промышленности (в частности, для измерения толщины мембран в тензодатчиках). Кроме того, изобретение может быть использовано в приборостроении и машиностроении: Целью изобретения является повышение производительности измерений.На измеряем...