ГОРБУНОВ ЕВГЕНИЙ БОРИСОВИЧ

  Использование: в полупроводниковой технике и предназначено для исследования и контроля полупроводниковых материалов . Сущность изобретения: на определенной зондовой линии поверхности слоя, например на линии его зеркальной симметрии , устанавливаются четыре точечных электрода 1-4. через электроды 1 и 4 пропускают ток Ii4, а между электродами 2 и 3 измеряют напряжение U2.3, затем п...