PatentDB.ru — поиск по патентным документам

САВВАИТОВА ЮЛИЯ АЛЕКСАНДРОВНА

Изобретатель САВВАИТОВА ЮЛИЯ АЛЕКСАНДРОВНА является автором следующих патентов:

Способ определения концентрации примеси в кремнии

Способ определения концентрации примеси в кремнии

  Сущность изобретения: нагревают образец до 300°С с одновременным облучением ультрафиолетовым излучением с энергией фотонов Е. Энергия фотонов больше фотоэлектрической работы выхода электрона и меньше энергии связи кремний-водород . В ходе нагрева определяют ток экзоэлектронной эмиссии. Охлаждают образец до исходной температуры и облучают ультрафиолетовым излучением с энер...

1749953