САВВАИТОВА ЮЛИЯ АЛЕКСАНДРОВНА
Изобретатель САВВАИТОВА ЮЛИЯ АЛЕКСАНДРОВНА является автором следующих патентов:
Способ определения концентрации примеси в кремнии
Сущность изобретения: нагревают образец до 300°С с одновременным облучением ультрафиолетовым излучением с энергией фотонов Е. Энергия фотонов больше фотоэлектрической работы выхода электрона и меньше энергии связи кремний-водород . В ходе нагрева определяют ток экзоэлектронной эмиссии. Охлаждают образец до исходной температуры и облучают ультрафиолетовым излучением с энер...
1749953