Цымбаревич В.И.
Изобретатель Цымбаревич В.И. является автором следующих патентов:
Способ получения пленок и устройство для его осуществления
Использование: электронная техника, микроэлектроника, СВЧ-техника, технология получения тонких пленок, обеспечивающая нанесение высокоомных диэлектрических пленок методом термоионного осаждения в вакууме. Сущность изобретения: катод 1, окруженный металлическим экраном 2, испускает электроны, которые бомбардируют мишень (М) 6 из оксида кремния SiO2 , находящуюся на изолированном тигле 5....
1750270