Жулина М.Н.

 Использование: электронная техника, формирование диффузионных источников сурьмы на кремнии. Пленкообразующий раствор для легирования кремниевых пластин содержит дихлоргидратхлордиэтоксид сурьмы, тетраэтоксисилан, соляную кислоту, диглим, изопропиловый спирт и воду. Улучшается однородность легирования и повышается срок годности раствора. 1 табл. Изобретение относится к электронной технике...