СПЕРАНСКИЙ ВИКТОР АЛЕКСАНДРОВИЧ

  Изобретение относится к способам получения моносилана. применяемого в производстве высокочастотного кремния и полупроводниковых материалов на его основе , и позволяет упростить процесс. В кварцевую ячейку помещают 1,5 мас.%-ную амальгаму натрия, заливают 1-2 моль/л раствора гидроксида натрия, выдерживают в течение не менее 5 мин. Затем вводят i-4 10 -5-10 моль/л раствор силиката...