АРЕНДАРЕНКО АЛЕКСЕЙ АНДРЕЕВИЧ

  Использование: к области микрофильтрации газообразных и других сред в процессах микроэлектроники и других областях. Сущность изобретения: выполнение вкладыша с кольцевой проточкой обеспечивает возможность растекания газа по поверхности вставки , а выполнение вставки кольцевой и газопроницаемой позволяет производить равномерную подачу газа на фильтрующие элементы, независимо от об...

  Сущность изобретения: устройство содержит реактор, внутри которого установлен подложкодержатель (ПД). ПД выполнен в виде диска, размещенного в основании и имеющего сателлиты. Под сателлитами вдиске и основании выполнены газотранспортные и сбросные канавки. На стороне сателлитов, обращенной к диску, выполнены также газотранспортные канавки. Их форма и угловое расположение аналогич...

  Сущность изобретения: устройство содержит реактор, внутри которого размещен подложкодержатель, выполненный в виде диска, размещенного в основании и имеющего сателлиты. Под сателлитами в диске и основании выполнены газотранспортные и сбросные канавки. В устройстве имеются средства ввода и выводи газа. В диске соосно сателлитам выполнены кальцевые проточки, соединенные с началом га...

  Использование: в электронной промышленности при производстве микросхем. Устройство содержит вертикальный реактор. В нем установлен полый подложкодержатель, внутри которого размещены подложки . Под подложкодержателем установлена перфорированная перегородка. В нижней части реактора по его оси размещены коаксиальные трубки для ввода парогазовой смеси (ПГС). По центру перфорированной...