Мишачев В.И.

 Использование: в пьезоэлектрических, электроакустических преобразователях, для измерения шумов. Сущность изобретения: датчик содержит мембрану 1, на планарной стороне которой расположена компенсирующая пленка 2, а над ней пленка 3 пьезоэлектрического материала с двумя электродами 4, 5, первый из которых расположен на ее внешней поверхности. Мембрана 1 выполнена из кремния, компенсирующая...

 Чувствительный элемент можно использовать для датчиков давления, силы, расходомеров, акселерометров. Чувствительный элемент содержит мембрану из полупроводникового материала с резисторами на лицевой стороне, основное утолщение из того же материала для заделки края мембраны с тыльной стороны. Чувствительный элемент снабжен дополнительным утолщением для заделки края мембраны с лицевой сторо...