КЫЛАСОВ ВЛАДИМИР АЛЕКСАНДРОВИЧ

  Использование: изобретение может быть использовано в пленарной технологии производства полупроводниковых приборов для получения пассивирующих покрытий в интегральных схемах, диэлектрических пленок тонкопленочных электролюминесцентных структур и т.п. Сущность: изобретение позволяет в результате введения кислорода в газовую аргоно-азотную смесь ВЧ магнетронного разряда при распылен...