ЧУРИН СЕРГЕЙ СЕРГЕЕВИЧ

  Изобретение относится к технической физике и может быть использовано для неразрушающего контроля удельного электросопротивления полупроводниковых пленок. Цель изобретения - повышение точности. Способ состоит в дополнитель ном освещении пленки источником света, спектральная характеристика и мощность которого обеспечивают насыщение ловушек захвата в полупроводниковой пленке, и пров...

  Использование: в технической физике и измерительной технике. Сущность изобретения: способ состоит в помещении образца в один из элементов высокочастотного (ВЧ) колебательного контура, измерении изменения добротности ВЧ контура, дополнительно параллельно катушке ВЧ колебательного контура подключают измерительный конденсатор , выполненный в виде двух проводящих обкладок, расположен...