БОЙКО ВИТАЛИЙ АРКАДЬЕВИЧ

  Использование; при изготовлении тонкопленочных конденсаторов и электролюминесцентных панелей. Сущность изобретения: после осаждения на кремниевую или кварцевую подложку электроннолучевым испарением покрытия из твердых растворов или изоморфных смесей оксидов металлов на заготовку наносят вакуум-термическим осаждением слой алюминия толщиной 0,1-0.6 мкм, термообрабатывают на воздухе...