Гапоненко В.И.

 Использование: технология изготовления кремниевых приборов и интегральных схем. Сущность изобретения: при обработке кремниевых изделий в травителе, состоящем из смеси плавиковой, азотной и уксусной кислот с объемным соотношением 1 : (6 - 17) : (1 - 3), наблюдается самопрекращение травления из-за накопления продуктов восстановления азотной кислоты. При этом убыль быстрорасходуемых компонен...

 Использование: технология изготовления кремниевых дискретных приборов и интегральных схем. Сущность изобретения: тотальное или локальное травление кремниевых изделий осуществляют в смеси плавиковой, азотной и уксусной кислот, взятых в соотношенииобъемов 1:(6-17):1-3. В травителях из указанного диапазона составов наблюдается самопрекращение травления или растворение небольшого количества к...