Макейчев В.И.

 Изобретение относится к электронной вакуумной технике. Цель изобретения - расширение функциональных возможностей способа. Способ магнетронного напыления включает подогрев подложек и напыление на них пленок одним и тем же магнетронным источником. Новым в способе магнетронного напыления является то, что подогрев поверхности подложек проводят во время напыления, причем подогрев осуществляют...