БЛАГИНИНА НЕЛЛИ ВСЕВОЛОДОВНА

  Использование: технология микроэлектроники , в частности технология изготовления гибридных микросхем. Сущность изобретения: на диэлектрическую подложку в вакууме напыляют подслой титана, проводящий слой /С/ никеля толщиной 1000- 2500А и технологический С хрома. После стравливания С хрома на поверхность напыленного никеля дополнительно осаждают С о никеля толщиной 1000-1400 А хими...