СТРАШКИН ВАЛЕРИЙ ВАСИЛЬЕВИЧ

  Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля геометрических параметров полупроводниковых пластин. Цель изобретения - повышение точности, расширение диапазона измерений и обеспечение неразрушающих измерений при контроле толщины. Измеритель содержит датчик касания, привод датчика касания, генератор тактовых импульсов, коммутатор сигналов кали...