Караванский В.А. (RU)

 Использование: для создания кремниевых подложек с поверхностями, применяемыми в качестве эмиттеров ионов в аналитических приборах, в частности масс-спектрометрах. Сущность изобретения: в способе формирования шероховатой поверхности кремниевых подложек путем анодного травления в электролите, содержащем водный раствор фтористоводородной кислоты и спирт, травление ведут в электролите при пло...