Горлатов В.С.

  Использование: газоразрядные устройства для получения интенсивных пучков ионов различных газов, включая активные, используемых для технологических операций на базе ионно-лучевой обработки материалов в вакууме. Сущность изобретения: источник ионов содержит полые анод и катод с соосными щелевыми апертурами в обращенных друг к другу торцевых стенках. Магнитная система, состоящая из двух пос...