Наливайко А.П.
Изобретатель Наливайко А.П. является автором следующих патентов:
Способ создания сглаженного рельефа в интегральных схемах
Сущность изобретения: способ включает формирование на полупроводниковой подложке с активными и пассивными элементами проводников различной ширины, нанесение диэлектрической пленки толщиной h 2.5 d, где d - толщина проводников, травление диэлектрической пленки жидкостным методом на глубину, равную толщине проводников, удаление фоторезиста и повторное травление диэлектрической пленки на глу...
1766214