БУЗУНОВ АНАТОЛИЙ ИГНАТЬЕВИЧ

  Использование: получение монокристаллов кремния методом Чохральского. Сущность изобретения: расплавляют загрузку в тигле, вытягивают монокристалл на затравку в герметичной камере из не более 2/3 расплава, содержащегося в тигле, отрывают кристалл от расплава, отделяют кристалл от затравки и размещают его в стороне от оси вытягивания, проводят подпитку расплава и вытягивание следую...