ЗОСИМ ДМИТРИЙ ИВАНОВИЧ

  Использование: плазменные источники ионов, например, для ионно-лучевой технологии . Сущность изобретения: отверстия в электродах дуоплазмотронного источника ионов выполнены прямоугольной щелевой формы с общей плоскостью симметрии. Полость промежуточного электрода, в которой размещены испаритель рабочего вещества и протяженный вдоль щелевых отверстий прямоканальный термоэмиссионны...