Суворова М.И.

  Сущность изобретения: возбуждают в объеме атмосферы рабочего газа, контактирующего с обрабатываемой поверхностью, высокочастотный разряд для очистки поверхности, который поддерживают до момента начала травления очищенной поверхности, определяют по предварительно снятому контрольному графику изменение давления в объеме. 2 ил. Изобретение относится к электронной технике, а именно к вакуумн...