БУМАЙ ЮРИЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ

  Изобретение относится к полупроводниковой технике и может быть использовано как неразрушающий способ определения профилей подвижности носителей тока в полупродниковых слоях на полуизолирующих или диэлектрических подложках. Способ осуществляется с помощью ртутною зонда-с коаксиальной геометрией контактов . Измеряют емкость барьера Шоттки и зависимости от обратного напряжения и сос...