Куренинова Е.В.

  Изобретение относится к электронной промышленности и может быть использовано при производстве фотоэлектронных умножителей (ФЭУ). Целью изобретения является проведение плазменной очистки ФЭУ, повышающей качество обработки. Устройство для вакуумной обработки ФЭУ содержит гнездо для размещения ФЭУ, снабженное узлом для электрического соединения с выводами ФЭУ, средства откачки и напуска газ...