СЕРОПЯН ГЕОРГИЙ БАГРАНОВИЧ

  Изобретение относится к области неразрушающих методов и средств контроля и может быть использовано при ультразвуковой дефектоскопии заготовок силовых полупроводниковых приборов или других плоских изделий. Целью изобретения являются повышение точности регистрации дефектов и производительности контроля плоских изделий за счет использования идентичных следящих приводов в сканирующем...