МЕРНИК КШИШТОВ

  Изобретение относится к способам подготовки образцов для анализа методами электронной микроскопии. Сущность изобретения: увеличение скорости подготовкиfобразцов достигается тем, что в способе подготовки образцов для электронной микроскопии, включающем в себя размещение образцов 3 на держателе 4, установку держателя в вакуумную камеру 1, откачку вакуумной камеры 1, распыление матер...

  Изобретение относится к устройствам нанесения тонких пленок и направлено на увеличение скорости нанесения покрытия при высоком коэффициенте использования материала мишени и однородности нанесения пленки при индивидуальной обработке. Положительный эффект достигается тем, что в магнетронном распылительном устройстве , содержащем катод, мишень, анод, подвижную магнитную систему, сос...