СМИРНОВ ВАЛЕРИЙ КОНСТАНТИНОВИЧ

  Использование: относится к газоанализаторным системам и может быть использовано при анализе состава газовой фазы вакуумно-плазменных и газофазных процессов в микроэлектронике. Сущность изобретения: установка содержит реакционную камеру 1 с линиями откачки 2 и напуска 3 г.повой смеси, систему промежуточной дифференциальной откачки, расположенную между реакционной камерой 1 и блоком...